泰勒霍普森PGI粗糙轮廓仪信息

更新时间：2025-10-28

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泰勒霍普森PGI系列是一款集高精度表面粗糙度与轮廓测量于一体的多功能计量仪器，广泛应用于精密制造、光学元件、半导体、汽车、航空航天及科研领域。

核心技术特点

相位光栅干涉测量技术（PGI）

PGI 系统采用独特的相位光栅干涉原理，结合高稳定性机械结构与精密光学系统，实现对表面形貌的非接触或接触式高精度测量。该技术可同时满足粗糙度（Ra、Rz 等）和宏观轮廓（如曲率半径、倾角、台阶高度）的测量需求。

超高垂直分辨率

垂直分辨率可达 0.1 纳米，水平分辨率优于 0.1 微米，适用于超光滑表面（如光学镜片、硬盘基板、半导体晶圆）的精密表征。

多功能一体化平台

PGI 系列支持：

表面粗糙度参数（ISO 4287/21920 标准）

轮廓形状分析（球面、非球面、自由曲面）

台阶高度与薄膜厚度测量

波纹度与形状误差评估

配套专业分析软件提供直观的3D/2D可视化界面，支持自动报告生成、数据比对、SPC统计过程控制及符合 ISO/GPS 标准的数据输出。

高稳定性机械结构

采用天然花岗岩基座、空气轴承导轨及主动隔振系统，确保在工业环境或计量实验室中均能获得可重复、高可靠性的测量结果。

典型应用领域

光学行业：非球面透镜、激光反射镜、衍射光学元件（DOE）的面形与粗糙度检测

半导体与微电子：晶圆表面平整度、CMP后粗糙度、MEMS结构轮廓

精密机械：轴承滚道、密封面、刀具刃口的微观形貌分析

科研与计量院所：纳米材料、超精密加工工艺验证、标准样块校准