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泰勒霍普森Intra Touch粗糙轮廓仪信息
点击次数:31 更新时间:2025-12-08 打印本页面 返回
泰勒霍普森Intra Touch粗糙轮廓仪是新一代表面形貌测量设备,创新性集成接触式与非接触式测量技术优势,专为精密制造、半导体及科研领域的纳米级测量需求设计。其核心亮点在于多传感器融合设计,通过触针与光学干涉仪同步采集数据,既能实现高分辨率轮廓跟踪,又可完成无损三维形貌重建,配合实时动态补偿算法,在恶劣工况下仍能保持≤10nm的重复性精度。
该仪器搭载智能温控系统,可有效抑制环境热漂移,确保在±0.1°C波动下的测量稳定性。其超低力接触模式可将探针测量力调节至0.1mN以下,能避免聚合物、光学涂层等软质材料的表面损伤。自动化操作平台支持批量检测与数据追溯,兼容专业分析软件实现多维数据可视化。凭借优异的跨行业适配性,该仪器广泛应用于航空航天涡轮叶片涂层检测、生物医学人工关节抛光验证、电子制造晶圆电路线宽监测等场景。




