菲希尔X射线测厚仪FISCHER XDL240关键技术参数

1. 测量系统

X 射线源：带铍窗口的钨靶射线管

高压档位：三档可调 (30kV/40kV/50kV)

探测器：比例计数管 (Proportional counter tube)，兼顾快速测量与小光斑需求

测量元素范围：钛 (Ti,22) 至铀 (U,92)，最多可测25 层镀层结构

最小测量光斑：约Ø0.2mm(标准配置)

基本滤片：3 种可切换，优化不同元素激发效率

2. 工作台参数

XY 轴行程：≥95×150mm，定位精度高

Z 轴行程：≥140mm，可编程自动聚焦，适配不同高度样品

DCM 技术：测量距离补偿法，可实现80mm 深度腔体远距离对焦，解决深腔测量难题

3. 环境与安全

工作温度：10°C – 40°C，湿度≤95%(无结露)

存储温度：0°C – 50°C

防护等级：整机符合辐射安全标准，带安全联锁保护