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泰勒霍普森轮廓仪PGI系列信息
点击次数：99 更新时间：2026-02-09 打印本页面 返回
泰勒·霍普森标志性的高精度轮廓测量系统，广泛应用于光学、半导体和超精密制造领域。PGI采用独特的相位光栅干涉传感技术，兼具接触式与非接触式测量的优点，在纳米甚至亚纳米级别实现无损、高重复性的表面形貌表征。该系统可测量从平面到自由曲面的复杂轮廓，包括非球面透镜、衍射光学元件、X射线反射镜等。
PGI的核心在于其传感器，能在不施加机械力的情况下获取高保真度的表面数据，避免对软质或脆性材料造成损伤。垂直分辨率优于0.1 nm，横向采样间隔可低至0.1 μm，动态范围宽达毫米级。配合TalyProfile分析软件，PGI支持ISO 10110光学标准、功率谱密度（PSD）分析及面形误差分解等功能。系统通常安装于隔振光学平台，适用于洁净室或计量实验室。作为光学制造商选设备，PGI代表了表面轮廓测量的水平。
